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比色测温仪在多晶硅提纯技术中的应用
文章来源:西安红外检测仪器有限公司   更新时间:2016-03-29   阅读:81

比色测温仪在多晶硅提纯技术中的应用

一、工艺简述

      多晶硅,是单质硅的一种形态。多晶硅是生产太阳能电池的原料,多晶硅切片后主要是用于制造太阳能电池,或者经深加工后生产单晶硅再切片,以提高太阳能的转化率,同时单晶硅还用于生产电子元器件,是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。

     多晶硅提纯技术有:西门子法、流化床法和冶金法。国际上生产高纯多晶硅的生产工艺以"改良西门子法一三氯氢硅氢还原法"为主(约占全球总产量的80%)。

       西门子法是由德国Siemens公司发明并于1954年申请了专利1965年左右实现了工业化。经过几十年的应用和发展,西门子法不断完善,现在已发展到第三代多晶硅生产工艺即改良西门子法,它在第二代的基础上增加了还原尾气干法回收系统、SiCl4回收氢化工艺,实现了完全闭环生产,是西门子法生产高纯多晶硅技术的最新技术。

该工艺将工业硅粉与HCl反应,加工成SiHCl3 ,再让SiHCl3在1100℃左右的H2气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅。还原炉排出的尾气H2、SiHCl3、SiCl4、SiH2Cl2 和HCl经过分离后再循环利用。

二、工厂测试效果

      我公司生产的双色(比色)红外测温仪和威廉姆逊测温仪在一家国内知名的多晶硅制造商生产现场进行对比测试。

      多晶硅还原炉有多个窗口。观察窗为双层玻璃,中间为流动冷却气体,窗口直径明显大于测温仪透镜直径。还原炉内径小于两米(即测量距离小于两米)。

      中部三个窗口用于测温。炉内多晶硅为柱状,呈内中外三圈分布,三个测温仪分别测试炉内内中外多晶硅柱的温度。多晶硅柱最小直径约为7毫米。

      第一天多晶硅柱约为7毫米,温度890℃左右跳动,威廉姆逊测温仪为温度880℃左右跳动。

      第二天温度1000℃左右跳动,威廉姆逊测温仪为温度990℃左右跳动。

      第三天温度1010℃左右跳动,威廉姆逊测温仪为温度990℃左右跳动。测试曲线平稳度与威廉姆逊近似,未看到明显差异。
 

西安红外检测仪器有限公司是一家主要研发和销售红外线测温仪、红外测温仪以及双色测温仪等仪表产品的公司,致力于研发出最优质的测温仪器等产品。

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